光柵尺也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點。例如,在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。
光柵尺工作原理
光柵尺的工作原理,是由一對光柵副中的主光柵(即標尺光柵)和副光柵(即指示光柵)進行相對位移時,在光的干涉與衍射共同作用下產生黑白相間(或明暗相間)的規則條紋圖形,稱之為莫爾條紋。經過光電器件轉換使黑白(或明暗)相同的條紋轉換成正弦波變化的電信號,再經過放大器放大,整形電路整形后,得到兩路相差為90o的正弦波或方波,送入光柵數顯表計數顯示。